Très mince, souple, et des transistors à couche mince à oxyde transparent produits par le procédé ILLO. Crédit :KAIST
Avec l'avènement de l'ère de l'Internet des objets (IoT), Une forte demande a augmenté pour des écrans portables et transparents pouvant être appliqués à divers domaines tels que la réalité augmentée (AR) et les dispositifs flexibles minces ressemblant à la peau. Cependant, les précédents écrans transparents flexibles ont posé de réels défis à surmonter, qui sont, entre autres, mauvaise transparence et faibles performances électriques. Pour améliorer la transparence et la performance, les efforts de recherche passés ont essayé d'utiliser l'électronique à base inorganique, mais les instabilités thermiques fondamentales des substrats plastiques ont entravé le processus à haute température, une étape essentielle nécessaire à la fabrication de dispositifs électroniques de haute performance.
Comme solution à ce problème, une équipe de recherche dirigée par les professeurs Keon Jae Lee et Sang-Hee Ko Park du Département des sciences et de l'ingénierie des matériaux de l'Institut avancé des sciences et technologies de Corée (KAIST) a développé des transistors à couche mince à oxyde ultramince et transparent (TFT) pour un fond de panier à matrice active d'un écran flexible en utilisant la méthode ILLO (Inorganic-based laser lift-off). L'équipe du professeur Lee a précédemment démontré la technologie ILLO pour la récupération d'énergie ( Matériaux avancés , 12 février 2014) et une mémoire flexible ( Matériaux avancés , 8 septembre, 2014) appareils.
L'équipe de recherche a fabriqué un réseau TFT d'oxyde haute performance sur un substrat sacrificiel réactif au laser. Après irradiation laser de la face arrière du substrat, seuls les réseaux d'oxyde TFT ont été séparés du substrat sacrificiel à la suite d'une réaction entre le laser et la couche réactive au laser, puis transféré sur des plastiques ultrafins (épaisseur 4 µm). Finalement, le circuit de commande à oxyde ultrafin transféré pour l'affichage flexible a été fixé de manière conforme à la surface de la peau humaine pour démontrer la possibilité de l'application portable. Les TFT à oxyde attachés ont montré une transparence optique élevée de 83 % et une mobilité de 40 cm^2 V^(-1) s^(-1) même sous plusieurs cycles de tests de flexion sévères.
Le professeur Lee a dit, "En utilisant notre procédé ILLO, les barrières technologiques pour les écrans flexibles transparents hautes performances ont été surmontées à un coût relativement faible en supprimant les substrats en polyimide coûteux. De plus, l'oxyde semi-conducteur de haute qualité peut être facilement transféré sur un substrat semblable à une peau ou flexible pour une application portable."
Très mince, souple, et des transistors à couche mince d'oxyde transparent attachés à un manchon de cavalier et à la peau humaine. Crédit :KAIST