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    Les électrons donnent une charge électrique à la couche de résistance

    Crédit :Université de Leyde

    Les physiciens de Leiden ont découvert une interaction surprenante entre les électrons et une couche de réserve. La réserve semble se charger et se décharger en raison des électrons entrants. Parution dans Lettres d'examen physique .

    Les motifs délicats des puces pour ordinateurs et smartphones sont «écrits» avec de la lumière. Pour rendre les puces plus puissantes, les fabricants doivent écrire des motifs encore plus petits. Pour cela, ils ont besoin de lumière avec une longueur d'onde plus courte. Depuis des décennies, l'industrie des semi-conducteurs a investi dans le développement d'une technologie basée sur la lumière ultraviolette extrême (EUV), avec une longueur d'onde de 13,5 nanomètres, six mille fois plus petite que l'épaisseur d'un cheveu humain.

    EUV light n'écrit pas de motifs directement sur une puce, mais crée d'abord une explosion d'électrons. Cette gerbe d'électrons écrit ensuite le motif sur la puce. Personne ne sait exactement comment les électrons font cela. Une équipe de physiciens de l'Université de Leiden, ARCNL et IBM étudient ce processus d'écriture en sautant la lumière EUV et en tirant des électrons directement sur une couche de réserve. Ils n'utilisent pas une rafale entière avec un fouillis d'énergies différentes, mais utiliser à la place des électrons d'une énergie prédéterminée. Cela leur permet d'augmenter progressivement l'énergie, afin qu'ils puissent surveiller de près la façon dont le résist réagit à chaque étape.

    Les chercheurs ont trouvé un effet surprenant. Leur résistance s'est chargée électriquement, alors qu'auparavant, on supposait que le processus d'exposition était électriquement neutre. Parfois, la charge passe même brusquement du négatif au positif. Les chercheurs expliquent ces résultats inattendus avec un modèle contenant un élément de la théorie des catastrophes. Cette branche des mathématiques explique par exemple pourquoi un chien effrayé passe soudainement d'un comportement de soumission à un comportement agressif.

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