Le premier microscope électronique a été construit par Ernst Ruska et max knoll dans 1931 à la Université technique de Berlin .

Alors que les deux scientifiques ont contribué de manière significative, Ernst Ruska est généralement crédité comme l'inventeur principal. Il a reçu le prix Nobel de physique en 1986 pour son travail sur l'optique électronique et pour sa conception du premier microscope électronique.