La molécule de SiF4 a une forme tétraédrique. En effet, l’atome de silicium possède quatre électrons de valence et chacun de ces électrons est partagé avec un atome de fluor. Les quatre atomes de fluor sont disposés autour de l’atome de silicium selon une forme tétraédrique, chaque atome de fluor occupant l’un des quatre coins d’un tétraèdre.