La simulation de la dynamique des fluides révèle la physique sous-jacente du nettoyage par jet liquide
La fabrication de semi-conducteurs et de nombreuses autres opérations industrielles impliquent des processus de nettoyage, et du point de vue de l'environnement et de la santé, il est devenu hautement souhaitable d'utiliser des techniques de nettoyage physiques telles que les jets de liquide ou les ultrasons sous-marins au lieu de produits chimiques toxiques.
Étonnamment, les chercheurs spécialisés en génie mécanique n'ont pas accordé beaucoup d'attention aux problèmes de nettoyage physique. Mais maintenant, ingénieurs mécaniciens spécialisés dans le mécanisme du mouvement des fluides à l'Université Keio, au Japon, ont dévoilé la physique sous-jacente de ce qui se passe lorsque des collisions de jets liquides frappent des surfaces à nettoyer.
Pour faire ça, les ingénieurs ont utilisé une simulation de dynamique des fluides pour étudier l'impact des gouttelettes d'eau contre un mur rigide sec/humide à titre d'exemple canonique. Ils rapportent leur travail dans le journal Physique des fluides .
« Dans la fabrication de semi-conducteurs, les particules de contaminants de plus petite taille doivent être retirées des plaquettes de silicium à mesure que les dispositifs se miniaturisent davantage, " a déclaré Keita Ando, professeur adjoint de génie mécanique à l'Université Keio. "L'impact de gouttelettes à grande vitesse est favorisé lorsqu'il s'agit d'éliminer des particules de très petites tailles - de l'ordre de 10 nanomètres - mais il peut provoquer une érosion de surface."
Il est donc nécessaire de considérer les effets à la fois de la viscosité et de la compressibilité du fluide sur la dynamique d'impact. "Le fluide est visqueux, il produit donc un frottement mécanique qui joue un rôle essentiel dans l'élimination des particules, " dit-il. " De plus, le fluide est compressible, ce qui signifie qu'il produit un coup de bélier à l'impact qui peut finir par endommager la surface."