Le processus d'ionisation peut être représenté par l'équation suivante :
Cu(g) + e- ---> Cu+(g) + 2e-
Dans cette équation, Cu(g) représente un atome de cuivre neutre, e- représente le faisceau d'électrons, Cu+(g) représente un ion de cuivre chargé positivement et 2e- représente les deux électrons émis par l'atome de cuivre lors de l'ionisation.
Le processus d'ionisation électronique est généralement effectué dans une chambre à vide pour empêcher les ions d'entrer en collision avec les molécules d'air et de perdre leur charge. Les ions positifs produits sont ensuite accélérés par un champ électrique et séparés en fonction de leur rapport masse/charge dans l'analyseur de masse.